这为国产高端光刻机的研发，带来了希望。

如果最终实验验证失败，或者数据不理想，那么对国内所有人来说，无疑是从头浇了盆冷水。

不但会影响后续的研发工作，更难保证眼下这时候大家聚起来的心气。

尤其还会让海外方面，更加猖狂有底气。

可以说在眼下这种局面中，迫切需要一个好消息，来扭转局势振奋人心。

所以这也就使得今天的实验，绝对不能失败。

「所有装置已经检查完毕，符合实验的条件，我们随时可以开始。」

上午九时许。

总部大楼实验室内，全副武装的贺鹏涛，看向那台搭建了一段时间的毫米级演示装置，待完成相应的工作后立刻对总设计师进行报告。

虽然他早就入选科学院院士，但这次为了实验验证的顺利进行，果断选择亲自动手参与实验。

尽可能保证不出差错。

同样有此操作的丁顺安院士，则正站在徐铭身旁。

「开始吧。」

徐铭对于这种重要场面，可以说早就司空见惯，闻言仅点头吐出几个字，脸上的表情始终保持镇定，浑身散发出胸有成竹的自信。

使得周围人安心不少。

贺鹏涛接到指令，转过身看向身后的潘耀，让其进行下一步操作。

「小潘，安装光源靶盘，」

「是老师。」潘耀掷地有声回答。

随即在实验系统控制室内几人的注视下，矽基光源靶盘安装到在演示装置上，终于为其拼上了最后一块拼图。

「好多年没有像现在这么紧张了，希望实验的结果不会辜负大家的期望。」这时丁顺安还是忍不住开口，在深吸了一口气后才算让情绪稳定下来。

之前微电子装备研发90纳米工艺光刻机时，都未曾像今天这么紧张过。

不知是海外那份文件给国内带来的压力，还是徐铭这几个月以来，所展现出来的实力太过让人震惊意外。

只能说在拉高了预期目标之后，越是容易患得患失。

生怕会出现不好的结果。

徐铭听到丁顺安院士的话，顺势扭过头，脸上堆著淡淡的笑容接过话补充。

「放心吧丁院，我们前期已经准备的足够多，相信实验验证绝不会让大家失望。」

「说的没错，是我心态不稳了。」丁顺安点点头当即笑著附和句。

尽管他这个身份和年龄，竟还不如徐铭沉得住气，但心里面却没丝毫不适，毕竟以徐铭的水平，很难会去把他当做三十不到的年轻人。

哪怕年龄确实如此。

就这样。

很快伴随著验证实验正式开始，在众人的观察和各种监测仪器设备的记录下，只见从雷射设备中，发射出一束高强度且高重复频率的近红外雷射。

在照射到高速旋转的光源靶盘上后，雷射在每一个点上瞬间激发耦合态。

辐射出稳定的极紫外光。

「各项数据怎么样？」

贺鹏涛最先反应过来，立刻望向坐在屏幕前的潘耀大声询问具体数据，想知道最终结果究竟如何。

虽说包括徐铭在内的其他人，没有再开口，但大家的目光无一例外，都集中在了潘耀的身上，因为过度紧张甚至有人都快要屏住呼吸。

约摸过去了将近两分钟时间，潘耀的声音终于在实验室内响起。

能够听出其中夹杂著明显的激动情绪。

「有结果了。」

「雷射在光源靶盘上，成功激发出等离激元耦合态。」

「辐射出的光源波长为13.5纳米。」

「输出光源稳定在50瓦，转化效率突破15%。」

几乎是潘耀话音落下的瞬间，整个实验室内顿时爆发出雷鸣般的热烈鼓掌声，每个人脸上都肉眼可见的浮现出发自内心的喜悦。

「成功了。」

「我们掌握了稳定的极紫外光源，这是国产高端光刻机研发的一大步。」

「徐总师的设想是正确的。」

「很难想像首次实验，转化效率就达到了15%，这可比海外主流的极紫外光源技术高效许多。」

「简直是在做梦。」

凡是抽调进光刻机专项研究组的成员，都属于两个光机所内的优秀科研人员，对极紫外光源的好处无比清楚。

但就是这样决定著高端光刻机工艺的光源，在几个月前对国内方面来说，还是可望而不可及的遥远存在，只有海外的阿斯麦公司才能研发极紫外光刻机。

可此刻在微电子装备总部实验室内，却诞生出了转化效率高达15%的稳定极紫外光。

毫不夸张的讲，这项成果无论放在哪里，都是地震。

足以让全世界感到吃惊。

待众人的情绪逐渐平复下来，贺鹏涛依旧查看著屏幕中反馈的数据，随后恋恋不舍收回目光，才直起身体看向面前的徐铭面色潮红。

「太让人惊喜了，采用新理论得到的极紫外光，已经远远超过海外主流的轰击锡滴技术。」

「解决高端光刻机的核心光源系统，接下来我们的国产光刻机研发，肯定会迎来一段飞速发展的阶段。」

「我提议应该立刻向外界宣布此消息，让海外知道华国有能力研发高端光刻机。」

对此旁边的丁顺安也没保持沉默，闻言虽不愿意破坏眼下的气氛，但最终嘴唇微动还是跟在后面补充了句。

「可惜输出的极紫外光，只稳定在50瓦，距离商用所需的250瓦还有差距，不过毕竟是首次进行验证实验，这个结果已经远远超出预计了。

徐铭对此次验证的成功并不意外，就连丁顺安口中的功率问题也在预料之内。

主要今天的实验，核心挑战是新理论方法，是否能稳定输出极紫外光，事实证明他的设想是非常成功的，要确定了这件事之后才能解决功率问题。

于是还没等丁顺安的遗憾情绪停留多久，他当即主动开口回应上一句，并未在这个时候还故意去卖关子。

「关于光源的功率问题，可以通过将光源靶盘设计成多环结构，让多路雷射同时激发来提升，应该能够满足商用的250瓦功率。」

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